紫外臭氧清洗機常用于掃描探測顯微鏡的樣品應用，該設備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的何形狀，削尖的探針有利于提高側向分辨率。臭氧清洗機設備已經用于納米技術，化學，生物學，光學，電子學，半導體和其他全球范圍內的科學實驗室。